硅晶圆制作中应用的超纯水设备如何？

　　熟悉半导体领域的人都知道硅晶圆，硅晶圆作为半导体电路的核心组件，是一种承载物，为了制成半导体积体电路的原材料。所以，半导体质量的好坏与硅晶圆生产息息相关。

　　我们发现为了保证硅晶圆质量，其清洗用水多为高质量的超纯水，因为只有超纯水作为清洗用水才能保证硅晶圆的品质，保证硅片无杂质吸附，那么什么样的超纯水设备才能产出高质量的超纯水呢？

　　采用预处理+反渗透+EDI+抛光混床的工艺组合形式的超纯水设备方可制备出高质量的超纯水。这类硅晶圆超纯水设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、体积较小、维修量小，运行的时间长等优点。设备应用的EDI模块水处理过程中不需要添加任何化学品，不仅减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。本模块不会有酸碱废液产生，所以不需要酸碱中和池，一般情况下，EDI水处理系统产出的浓水完全可以回收再利用。

　　硅晶圆超纯水设备还具有无需树脂再生，自动化性能强，无需人工操作等优势。设备能够连续稳定的制备品质优良的超纯水，采用的设计结构相对靠紧，所以其占地非常小，可以为企业节省很多空间，在符合硅晶圆生产用水水质标准的同时可以使水资源的利用率达到80%左右，有效提升了水资源利用率。

　　随着科技的不断进步，半导体行业不断的发展，我国对于该行业的政策支持，使得硅晶圆的市场需求也在不断增加，超纯水的需求也在悄然的增加。

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　　编辑：柒柒   技术：米