在当今时代,集成电路产业于国民经济和社会发展进程中,占据着战略性主导地位。它不单单是转变经济发展方式、调整产业结构以及维护国家安全的关键支撑,更是培育与发展战略性新兴产业,推动信息化和工业化深度融合的核心与基础。过去十年间,我国集成电路产业步入快速发展通道,产业规模得以迅速拓展,产业结构持续优化升级。
随着经济的持续进步,集成电路设计对水质的要求日益严苛。在生产环节,超纯水成为保障集成电路性能的关键要素。展望未来数年,集成电路制造商数量的增多以及制造能力的提升,将进一步拉动集成电路行业对超纯水制备的需求。这不仅体现在需求 “数量” 的增长上,更因集成电路制造愈发精密,对超纯水纯度和稳定性的 “质量” 要求也会同步提高。
长期以来,混床离子交换技术作为超纯水制备的常规工艺,在超纯水生产领域应用颇为广泛。不过,该技术存在明显短板,需要周期性再生,且在再生过程中会耗费大量化学药品(酸碱)与工业纯水,同时还会引发一定的环境问题。鉴于此,研发无酸碱超纯水系统成为行业发展的迫切需求。
传统离子交换技术已逐渐难以契合现代工业发展与环保要求。在此背景下,融合膜、树脂以及电化学原理的 EDI 技术应运而生,引发了水处理技术的重大变革。EDI 技术在离子交换树脂再生过程中,采用电能替代酸碱,更加契合当下全球的环保理念。
EDI 系统通常应用于反渗透系统之后,能够取代传统的混床离子交换技术,稳定生产超纯水。超纯水系统将反渗透水处理设备、EDI 系统和抛光混床相结合来制备超纯水。这不仅是一种创新的超纯水制备技术,更是一种兼具环保、经济优势且具备巨大发展潜力的超纯水制备工艺。
超纯水设备具备诸多优势,能够连续稳定地生产优质超纯水,不会因树脂再生而中断运行。其结构设计紧凑,占地面积小,能够为企业节省大量空间资源。与传统超纯水制备方法相比,超纯水设备在制备高质量超纯水方面,展现出更为出色的稳定性与持续性。
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